磷化銦清洗機(jī),磷化銦單片清洗甩干機(jī),磷化銦襯底清洗機(jī),磷化銦雙面清洗甩干機(jī)-寶貝再忍點(diǎn)灬舒服灬大點(diǎn)視頻_國(guó)產(chǎn)精品自拍21
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1、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域：半自動(dòng)單片清洗機(jī)是高潔凈度清洗設(shè)備,具有藥液清洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過(guò)快速更換甩干頭來(lái)實(shí)現(xiàn)。其主要用于兼容2-6寸磷化銦晶圓半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的刷洗干燥工藝。具有成本低，快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。
1.2名稱(chēng)：半自動(dòng)單片清洗機(jī)
1.3型號(hào)：SQX-150-5Y1D
2、主要結(jié)構(gòu)特征
半自動(dòng)單片清洗機(jī)主要伺服電機(jī)，供藥系統(tǒng)，PLC控制器，高潔凈閥門(mén)，PFA管等部分組成。
2.1材質(zhì)：進(jìn)口PP板，能夠滿(mǎn)足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專(zhuān)用伺服電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)每分鐘5-5000轉(zhuǎn)，低速均勻清洗，高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機(jī)界面，穩(wěn)定可靠控制各個(gè)部件，直觀可視化操作模式。
3、主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目
主要性能指標(biāo)和參數(shù)
加工尺寸
兼容2、3、4、6寸晶圓
單次甩干數(shù)量
1片
工位數(shù)量（個(gè)）
1
機(jī)臺(tái)上下片方式
手動(dòng)上下片
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN
5-5000rpm可設(shè)定
清洗方式
藥液清洗/兆聲清洗/純水清洗
藥液數(shù)量
5種
藥液噴嘴
上下兩面 獨(dú)立供液
藥液槽
5個(gè) 10L PVDF藥液槽
適用藥液類(lèi)型
冷、熱、SC1、酒精、酸性藥液
藥液加熱
1種（熱）
供藥方式
壓控法
出藥口大小
正面5路
背面5路
藥液流量調(diào)節(jié)
10路 PFA手閥 10ml-1000ml/min
藥液流量監(jiān)控
4路（正藥液4路，背藥液4路）
DIW水沖洗
2路
DI水流量調(diào)節(jié)
2路 PFA手閥 10ml-1000ml/min
DI水出口大小
2路 正背面外徑4mm內(nèi)徑2mm
水流量監(jiān)控
2路（正水1路，背水1路）
）
兆聲水沖洗
1路
兆生水流量調(diào)節(jié)
1路 PFA手閥 10ml-1000ml/min
清洗甩干時(shí)間
2-5min
氮?dú)鈮毫?/p>
0.15Mpa，氮?dú)夤芙涌?/4英寸
純水壓力
0.15Mpa， 管接口1/4mm
排水管
2路φ19mm（水 藥液）
排風(fēng)管
兩路110mm/75mm
顯示/控制系統(tǒng)
7寸觸摸屏+PLC可編程控制器
管路材料
PFA
電源
220V
整機(jī)功率
5KW
外型尺寸（深*寬*高）mm
長(zhǎng)660mm*寬760mm*高1332mm
磷化銦清洗機(jī) , 磷化銦雙面清洗甩干機(jī) , 磷化銦襯底清洗機(jī) , 磷化銦單片清洗甩干機(jī) , 單片清洗機(jī)
單晶爐,多晶爐,區(qū)熔爐,SEMITOOL甩干機(jī),晶片檢測(cè)強(qiáng)光燈
一般項(xiàng)目：半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造；集成電路制造；光伏設(shè)備及元器件制造；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造；電子元器件制造；電子測(cè)量?jī)x器制造；機(jī)械電氣設(shè)備制造；五金產(chǎn)品制造；塑料制品制造；集成電路芯片及產(chǎn)品銷(xiāo)售；半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售；機(jī)械電氣設(shè)備銷(xiāo)售；工業(yè)控制計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)銷(xiāo)售；電子專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售；電力電子元器件銷(xiāo)售；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù)；信息技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技
河北中科微電子有限公司是一家高科技港資公司，集半導(dǎo)體及芯片、微電子、新材料高端工藝設(shè) 備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體，為中國(guó)芯片制造公司及各電子科技研究所提供交鑰匙工程以及整 體生產(chǎn)線改造升級(jí)解決方案。 公司與美國(guó)、新加坡、韓國(guó)和日本等公司合作，在國(guó)外設(shè)有庫(kù)房，囤有大量的半導(dǎo)體、微電子、 新材料等行業(yè)專(zhuān)用設(shè)備及配件。 公司匯聚了眾多相關(guān)行業(yè)、領(lǐng)域的管理和技術(shù)人才，具有自主研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造高端工藝設(shè) 備的能力。長(zhǎng)期與中電十一所，中...