單片甩干機(jī) 單片雙面吹氣甩干機(jī) EFEM集成甩干機(jī) EFEM模組甩干機(jī) EFEM甩干機(jī) 12寸甩干機(jī)-國產(chǎn)亞洲國際精品福利-電影先性后愛3メイリン モデルコレクション メ
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- 微信號
- hongkongcsm
- 品牌
- ZKM
- 型號
- 12寸
單片清洗甩干機(jī)屬于高潔凈度清洗干燥設(shè)備，具備高速甩干、快速烘干、生產(chǎn)效率高等特點(diǎn)；可通過快速更換甩干頭適配不同規(guī)格晶圓。主要應(yīng)用于 2?12 英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板及各類基片的清洗干燥工藝，具備投入成本低、可快速接入產(chǎn)線生產(chǎn)的優(yōu)勢。
單片清洗甩干機(jī)
SG?8?12?2D
設(shè)備主要由伺服電機(jī)、PLC 控制器、人機(jī)界面、高潔凈閥門、PFA 管路、氮?dú)饧訜崞?、防腐蝕外殼、甩干頭等部件組成。
設(shè)備殼體：采用進(jìn)口 PP 板材質(zhì)，滿足潔凈室使用環(huán)境要求。
驅(qū)動單元：配置專用中空伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速范圍 10?4000rpm，可實(shí)現(xiàn)低速均勻清洗、高速離心甩干工藝。
控制系統(tǒng)：工業(yè) PLC + 人機(jī)觸摸屏，各部件控制穩(wěn)定可靠，操作可視化。
電氣標(biāo)準(zhǔn)：電氣元器件選型符合 CE 認(rèn)證要求。
氣路配置：吹氣前端配置過濾器，保障供氣潔凈度。
晶圓接觸部位：采用 PEEK 材質(zhì)。
晶圓防護(hù)：晶圓 3mm 排除區(qū)域允許接觸，其余區(qū)域非接觸式設(shè)計(jì)，避免水漬殘留。
出廠測試：設(shè)備出廠前完成 48h 不間斷馬拉松運(yùn)行測試，隨機(jī)提供甩干碎片、滑片專項(xiàng)檢測報告。
表格
項(xiàng)目性能指標(biāo)參數(shù)| 加工硅片尺寸 | 6?12 英寸圓片（更換對應(yīng) CHUCK 甩干頭） |
| 單次甩干數(shù)量 | 1 片 |
| 工位數(shù)量 | 1 個 |
| 空載旋轉(zhuǎn)速度 | 10?4000 R/Min |
| 甩干方式 | 離心甩干 |
| 吹氣功能 | 雙面吹氣（正面 + 反面） |
| 氮?dú)赓|(zhì)量流量控制 | 2 路，分別控制正反兩面 |
| 清洗甩干周期 | 開啟吹氣：90?120s 完成徹底干燥 |
| 氮?dú)夤ぷ鲏毫?/td> | 0.35?0.4MPa，氣管接口 φ6mm |
| CDA 工作壓力 | 0.35?0.4MPa，氣管接口 φ6mm |
| 排水管接口 | 12mm 卡套接頭 |
| 顯示控制系統(tǒng) | 7 寸觸摸屏 + PLC 可編程控制器 |
| 擋水環(huán)升降 | 支持（材質(zhì) PP/PE） |
| 固定位置停止 | 支持 |
| 空片檢測 | 支持，超聲波位置檢測 |
| 外控啟動 | 支持 |
| 上位機(jī)程序控制 | 支持 |
| 管路材質(zhì) | PFA |
| 供電電源 | AC220V |
| 整機(jī)功率 | 1.5kW |
| 外形尺寸（長 × 寬 × 高） | 450mm × 490mm × 660mm |
單片甩干機(jī) , EFEM甩干機(jī) , 單片雙面吹氣甩干機(jī) , EFEM集成甩干機(jī) , EFEM模組甩干機(jī)
單晶爐,多晶爐,區(qū)熔爐,SEMITOOL甩干機(jī),晶片檢測強(qiáng)光燈
一般項(xiàng)目：半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；集成電路制造；光伏設(shè)備及元器件制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；電子元器件制造；電子測量儀器制造；機(jī)械電氣設(shè)備制造；五金產(chǎn)品制造；塑料制品制造；集成電路芯片及產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)控制計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)銷售；電子專用設(shè)備銷售；電力電子元器件銷售；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù)；信息技術(shù)咨詢服務(wù)；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技
河北中科微電子有限公司是一家高科技港資公司，集半導(dǎo)體及芯片、微電子、新材料高端工藝設(shè) 備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體，為中國芯片制造公司及各電子科技研究所提供交鑰匙工程以及整 體生產(chǎn)線改造升級解決方案。 公司與美國、新加坡、韓國和日本等公司合作，在國外設(shè)有庫房，囤有大量的半導(dǎo)體、微電子、 新材料等行業(yè)專用設(shè)備及配件。 公司匯聚了眾多相關(guān)行業(yè)、領(lǐng)域的管理和技術(shù)人才，具有自主研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造高端工藝設(shè) 備的能力。長期與中電十一所，中...