全自動單片晶圓清洗機(jī),自動晶圓清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),磷化銦清洗機(jī)-胯下小秘書的呻吟メイリン モデルコレクション メイ|遺書不雅視頻國產(chǎn)極品視頻
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一、設(shè)備描述
1.1設(shè)備概述
全自動單片晶圓清洗機(jī)采用先進(jìn)的清洗技術(shù)和自動化控制系統(tǒng)，能夠在無塵環(huán)境中對單個晶圓進(jìn)行高效且jingque的清洗處理。該設(shè)備通常包含晶圓傳輸系統(tǒng)、化學(xué)溶液供給系統(tǒng)、超純水沖洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)等主要組成部分。
晶圓傳輸系統(tǒng)：使用機(jī)械手或機(jī)器人實現(xiàn)晶圓從裝載到卸載的全程自動化搬運。
化學(xué)溶液供給系統(tǒng)：根據(jù)工藝需求提供不同種類和濃度的化學(xué)清洗劑。
超純水沖洗系統(tǒng)：利用高純度去離子水去除晶圓表面殘留物。
兆聲系統(tǒng)：兆聲水去除晶圓表面微小殘留物。
1.2工藝流程
晶圓裝載：將待清洗的晶圓放置于專用載體中并送入設(shè)備。
化學(xué)清洗：根據(jù)需要選擇合適的化學(xué)溶液進(jìn)行浸漬或噴淋清洗。
超純水沖洗：用超純水徹底沖洗掉化學(xué)溶劑及殘留物質(zhì)。
兆聲系統(tǒng)：兆聲水去除晶圓表面微小殘留物。
晶圓卸載：完成清洗后的晶圓被安全地移出設(shè)備。
1.3布局初縮略信息（以實際設(shè)計為準(zhǔn)）
設(shè)計要點：
1、水槽底部位V型，便于排藥排水，不易殘留。
2、噴藥噴水為旋轉(zhuǎn)擺臂結(jié)構(gòu)，外包為特氟龍材料潔凈耐腐耐磨材料（耐腐蝕），避免藥液飛濺腐蝕以及運動產(chǎn)生顆粒。
3、主軸電機(jī)為中空直驅(qū)電機(jī)，避免皮帶傳動產(chǎn)生的顆粒及震動。
4、所有電機(jī)及氣缸在腔室底部，避免腐蝕性氣體對部件的損壞，同時避免動作頻繁產(chǎn)生的顆粒對清洗晶圓造成污染。
5、排風(fēng)分為腔室側(cè)面三路排風(fēng)及排藥底部排風(fēng)，避免腔室內(nèi)和排藥管路藥液揮發(fā)對晶圓產(chǎn)生的影響。3個腔室配兩根110mm排風(fēng)管，共計四根主排風(fēng)管。每個腔室配排風(fēng)調(diào)節(jié)閥。
6、清洗分為正面清洗及背面清洗，正面背面分別配有回吸一體閥及手動流量閥，可單獨調(diào)節(jié)。正面、背面配有在線式流量計，可監(jiān)控流量是否在要求范圍內(nèi)，并設(shè)定報警提示。
7、CHUCK采用縷空式（耐高溫腐蝕），防止藥液飛濺回彈，產(chǎn)生水藥印，造成良率降低。擋柱與底盤連接牢固可靠且方便更換，高速旋轉(zhuǎn)時Zui大徑向位移不超過0.5mm，碎片率<0.05%; 背面出藥平臺無藥液殘留。
項目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
加工尺寸 | 同時兼容2/3/4/6寸晶圓不可同時兼容CHUCK就要方便更換，以普通操作工即可完成更換為標(biāo)準(zhǔn)，更換一個CHUCK的時間不超過5分鐘，所有零部件耐高溫腐蝕，且不易磨損） |
單次清洗數(shù)量 | 6片 |
工位數(shù)量（個） | 6 |
機(jī)臺上下片方式 | 自動上下片 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 5-5000 rpm可設(shè)定 |
清洗方式 | 藥液清洗/純水清洗/兆聲清洗 |
藥液數(shù)量 | 5種 |
清洗類型 | 上下兩面 獨立供液 （主背面同時供給不同藥液，比如正面過藥背面沖水） |
適用藥液類型 | 熱 冷 磷酸 顯影液等（強(qiáng)酸，強(qiáng)堿） |
供藥方式 | 氮氣壓控，配壓力監(jiān)控，供藥平穩(wěn)無抖動，藥液槽切換保持平穩(wěn)過渡（分成兩個壓力閥控制） |
藥液槽 | 10個4L PVDF藥液槽 一備一用。配自動吸藥裝置。（不同容量的藥液出藥壓力保持一致，流量波動10%以內(nèi)），增加用于固定外接藥液（廢酸）排放裝置，設(shè)置液位報警裝置及聯(lián)鎖裝置。 |
藥液出口尺寸 | 熱外徑4mm內(nèi)徑2mm冷外徑4mm內(nèi)徑2mm 磷酸外徑4mm內(nèi)徑2mm 顯影液外徑4mm內(nèi)徑2mm 備用外徑4mm內(nèi)徑2mm |
藥液流量調(diào)節(jié) | 10路*6 PFA手閥 10ml-1000ml/min |
藥液流量監(jiān)控 | 10路*6（上藥液5路，下藥液5路）*6腔室 |
藥液加熱 | 1路 熱 70℃±5℃（可達(dá)90℃）,6路保持一致（采用藥罐內(nèi)藥液循環(huán)加熱及終端電加熱補充，保證溫度達(dá)標(biāo)（管內(nèi)酸溫能檢測）），加熱帶更換方便 |
純水沖洗 | 正面1路 *6腔室 背面1路 *6腔室 |
純水出口尺寸 | 1/4（6.35mm*4.35） |
純水流量調(diào)節(jié) | 1路*6 PFA手閥 10ml-1000ml/min |
純水流量監(jiān)控 | 正面1路 *6腔室 背面1路 *6腔室 |
純水電阻率監(jiān)控 | 進(jìn)水主管路監(jiān)控電阻率，溫度，壓力 |
兆聲水沖洗 | 1路*6腔室 |
兆聲水流量調(diào)節(jié) | 1路*6 PFA手閥 0ml-3000ml/min |
清洗甩干時間 | 30-300S 可調(diào)節(jié)主軸加減速 |
顯示/控制系統(tǒng) | 15寸觸摸屏+PLC可編程控制器 |
內(nèi)部管路材料 | PFA |
頂部新風(fēng)過濾器 | U17高效（滿足腔體內(nèi)十級凈化） |
藥液溫度監(jiān)控 | 三種藥液溫度監(jiān)控 |
監(jiān)控數(shù)據(jù) | 所有監(jiān)控數(shù)據(jù)都能在顯示屏上清晰準(zhǔn)確顯示，且監(jiān)控數(shù)據(jù)能與我MES系統(tǒng)連接 |
晶圓清洗機(jī) , 磷化銦清洗機(jī) , 單片晶圓清洗機(jī) , 全自動單片晶圓清洗機(jī) , 單片清洗機(jī)
單晶爐,多晶爐,區(qū)熔爐,SEMITOOL甩干機(jī),晶片檢測強(qiáng)光燈
一般項目：半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；集成電路制造；光伏設(shè)備及元器件制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；電子元器件制造；電子測量儀器制造；機(jī)械電氣設(shè)備制造；五金產(chǎn)品制造；塑料制品制造；集成電路芯片及產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)控制計算機(jī)及系統(tǒng)銷售；電子專用設(shè)備銷售；電力電子元器件銷售；工業(yè)設(shè)計服務(wù)；信息技術(shù)咨詢服務(wù)；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技
河北中科微電子有限公司是一家高科技港資公司，集半導(dǎo)體及芯片、微電子、新材料高端工藝設(shè) 備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體，為中國芯片制造公司及各電子科技研究所提供交鑰匙工程以及整 體生產(chǎn)線改造升級解決方案。 公司與美國、新加坡、韓國和日本等公司合作，在國外設(shè)有庫房，囤有大量的半導(dǎo)體、微電子、 新材料等行業(yè)專用設(shè)備及配件。 公司匯聚了眾多相關(guān)行業(yè)、領(lǐng)域的管理和技術(shù)人才，具有自主研發(fā)、設(shè)計和制造高端工藝設(shè) 備的能力。長期與中電十一所，中...