大束流離子注入機(jī)
- 報(bào)價(jià)
- ￥5000000.00元每臺(tái)
- 聯(lián)系手機(jī)
- 18621385176
- 品牌
- IBS
- 型號(hào)
- Maxion
- 產(chǎn)地
- 法國(guó)
IBS（Innovative Ion Implant）MAXion 是面向 100mm/150mm/200mm硅片摻雜工藝的量產(chǎn)型大電流離子注入設(shè)備，擁有成熟量產(chǎn)驗(yàn)證架構(gòu)，設(shè)備技術(shù)與現(xiàn)有產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備通用，可降低操作人員、維護(hù)人員跨崗培訓(xùn)成本。
MAXion整機(jī)設(shè)備
Zui大束流參數(shù)
磷離子 P?、砷離子 As?：Zui高 22mA
硼離子 B?：Zui高 14mA
富集二 BF??：Zui高 7.5mA
不同能量下束流上限能量分 40keV、120keV、200keV三檔，P/As/B/BF?束流隨能量變化有對(duì)應(yīng)上限，120keV 為多數(shù)離子束流峰值區(qū)間。
摻雜源供給
機(jī)身標(biāo)配 4 個(gè)摻雜源位，可放置有毒摻雜材料；額外配備氬氣等惰性氣體供氣通道
汽化器分標(biāo)準(zhǔn)溫區(qū)（適配 P、As 等常規(guī)原料）與低溫快冷溫區(qū)（適配 SbF?、AlCl?等特殊原料）
摻雜元素覆蓋元素周期表中藍(lán)色標(biāo)注元素可直接使用，橙色稀土 /特殊金屬需單獨(dú)對(duì)接廠(chǎng)商，覆蓋絕大多數(shù)半導(dǎo)體摻雜所需元素。
可摻雜元素周期表
多尺寸兼容配套切換套件，可快速切換適配 4 英寸 (100mm)、6 英寸 (150mm)、8 英寸 (200mm)硅片，支持混線(xiàn)生產(chǎn)。
吞吐量數(shù)據(jù)
表格
晶圓規(guī)格批次容量每小時(shí)Zui大產(chǎn)能2e15 劑量下每小時(shí)產(chǎn)能| 4/6 英寸 | 25 片 | 290 片 | 225 片 |
| 8 英寸 | 17 片 | 230 片 | 165 片 |
劑量控制
劑量區(qū)間：5×1011 ~ 1×101? 原子 / 平方厘米
片內(nèi)不均勻度：＜0.5%
片間重復(fù)性：＜0.75%
金屬污染控制
鋁污染：＜3×1011 原子 / 平方厘米
鈦、鉻、鐵、銅、鎢等其他金屬污染：＜6×101? 原子 / 平方厘米
占地面積尺寸：5.2m × 3.7m × 2.4m
IBS , 大束流 , 氫離子注入機(jī)
四探針及四探針探頭，電子束曝光機(jī)，步進(jìn)式光刻機(jī)，接觸式光刻機(jī)，深硅刻蝕機(jī)，磁控濺射機(jī)，原子力顯微鏡
一般項(xiàng)目：技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；信息咨詢(xún)服務(wù)（不含許可類(lèi)信息咨詢(xún)服務(wù)）；機(jī)械設(shè)備銷(xiāo)售；電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷(xiāo)售。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）
上海墾芯電子科技有限公司是專(zhuān)注于高端半導(dǎo)體及微納制造領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)型企業(yè)，致力于為全球客戶(hù)（亞洲、中東、歐洲）提供一體化產(chǎn)業(yè)支持，涵蓋平臺(tái)建設(shè)方案、工藝解決方案、代工服務(wù)和配套耗材。以“工藝賦能創(chuàng)新，服務(wù)驅(qū)動(dòng)價(jià)值”為宗旨，通過(guò)整合全球優(yōu)質(zhì)設(shè)備資源和自主研發(fā)能力，推動(dòng)客戶(hù)從研發(fā)試制到規(guī)?；a(chǎn)的高效落地。憑借對(duì)細(xì)分領(lǐng)域工藝需求的深刻理解，公司構(gòu)建了全流程工藝設(shè)備體系，確保精準(zhǔn)適配不同制造場(chǎng)景的需求。...